展品介紹

鑫精誠(chéng)MEMS六維力傳感器技術(shù)是一種在微納米級(jí)的體積下塑造傳感器的機(jī)械結(jié)構(gòu)和系統(tǒng)（即用半導(dǎo)體技術(shù)在硅片上制造電子機(jī)械系統(tǒng)），從而把物理信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的力學(xué)傳感技術(shù)。經(jīng)過16年積累與突破，鑫精誠(chéng)力學(xué)傳感器已具備領(lǐng)先的六維力傳感器設(shè)計(jì)及制造能力，期間攻克了核心量產(chǎn)工藝、核心設(shè)備、核心性能、尺寸等關(guān)鍵技術(shù)難題，為工業(yè)自動(dòng)化及人工智能等十大領(lǐng)域市場(chǎng)應(yīng)用提供了高品質(zhì)的力學(xué)傳感器及力控解決方案。