展品介紹

大氣晶圓傳輸機(jī)器人采用雙臂式機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，全軸由伺服電機(jī)精準(zhǔn)控制。在高速運(yùn)行時(shí)，能夠憑借先進(jìn)的自研運(yùn)動(dòng)學(xué)和動(dòng)力學(xué)算法，保持晶圓的高精度傳輸。采用插補(bǔ)控制算法實(shí)現(xiàn)VIA功能，可靈活應(yīng)對(duì)復(fù)雜傳輸任務(wù)；真空晶圓傳輸機(jī)器人采用直驅(qū)電機(jī)進(jìn)行閉環(huán)控制，結(jié)合自研軌跡路徑算法，確保晶圓的高平穩(wěn)傳輸。搭載自動(dòng)糾偏功能，可實(shí)時(shí)檢測(cè)并糾正晶圓偏差，為半導(dǎo)體制造提供高效、可靠的傳輸解決方案。